22.05.10 - Определены причины отслоения слоя металла на оптическом зеркале для спектрального анализа плазмы. Ведется работа по отладке технологических режимов нанесения зеркального слоя

 


 

Металл отслаивается из-за образования наполненных водородом пузырей в результате неравномерной диффузии водорода в системе:

[кремниевая подложка] - [окись кремния] - [метал] - [зашитная окисная пленка].

Увеличение температуры зеркала приводит к ускорению диффузии водорода, росту давления в пузырях и отслоениям.


Блистеры на поверхности серебрянного зеркала, покрытого Al2O3 после экспозиции с флюенсом 1.9x10(20) ионов/см2

Увеличение температуры зеркала приводит к ускорению диффузии водорода, росту давления в пузырях и отслоениям.

Совместно с лабораторией Физики высокотемпературной плазмы ФТИ РАН им. А.Ф. Иоффе ведутся работы по обнаружению источника накопления водорода и поиску технологий дегазации зеркал, не вызывающих расслоений.

 

SpyLOG

russian