20.01.10 - Начаты работы по опеделению причин отслоения слоя металла на оптическом зеркале для спектрального анализа плазмы

 


 


После прогрева в потоке плазмы на зеркалах оптического спектрометра возникают отслоения отражающего слоя.

На фотографии под электронным микроскопом хорошо заметны светлые несплошности интерфейса и неоднородности защитной пленки, предположительно связанные с диффузией водорода в ммент напыления зеркального слоя на кремниевую подложку.

Был проведен анализ содержания водорода в полдложке. Он показал большое содержание водорода в подложке.Исследованы режимы дегазации подложки. Планирубтся дальнейшие исследования

 

SpyLOG

russian